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毛細聚焦X熒光光譜儀

此系列產品可測量金屬準直無法測量的微區,多導毛細聚焦管光學元件的光束尺寸可小至5μm,因此可以測量微電子設備、高級電路板、連接器、引腳框架和晶片的超微小區域。 可以測量納米級的鍍層,毛細聚焦管能將更多的X射線輸出聚焦到樣品上,可以敏感的反應鍍層納米級厚度變化。其焦斑小區域上的X射線強度比金屬準直系統高出幾個數量級。 可以實現更高的測試精度,毛細管聚焦X射線從而特征X射線強度更高,探測器接受到高的計數率,信噪比更好,可以得到更好的測試精度和置信區間。 更好的測試穩定性,探測器計數率高,測試結果波動更小,樣品鍍層、含量的測量更為精準。

儀器簡介:

此系列產品可測量金屬準直無法測量的微區,多導毛細聚焦管光學元件的光束尺寸可小5μm,因此可以測量微電子設備、高級電路板、連接器、引腳框架和晶片的超微小區域。

可以測量納米級的鍍層,毛細聚焦管能將更多的X射線輸出聚焦到樣品上,可以敏感的反應鍍層納米級厚度變化。其焦斑小區域上的X射線強度比金屬準直系統高出幾個數量級。

可以實現更高的測試精度,毛細管聚焦X射線從而特征X射線強度更高,探測器接受到高的計數率,信噪比更好,可以得到更好的測試精度和置信區間。

更好的測試穩定性,探測器計數率高,測試結果波動更小,樣品鍍層含量的測量更為精準。內3.png

性能優勢:

微區分析:精準定位平臺和毛細管聚焦光學結構,聚焦直徑可小至 5μm FWHM. 

測試速度強度高于金屬準直1000倍以上的毛細管光路系統搭配一六自主研發的EFP核心算法,分析效率翻倍,將大幅度縮減分析時間。 

自動智能儀器響應式自動開合,AI影像智能尋點一次編程即可實現成百上千個樣品點的高效檢測,實現在線檢測。 

兼容性可選超大樣品艙及移動平臺,可輕松裝載大尺寸樣品。所有核心部件封裝于可拆卸獨立測量頭內,可實現即插即用的安裝在廠線上。 

耐久性模塊化設計,使用壽命長,通用性更強,后期維護方便,各部件輕松換代升級。


光路系統:

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多導毛細管技術:

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高能量的X-ray,配合高分辨率、大窗口SDD探測器,實現極小測量光斑。

高集成光路+多導毛細管:在高集成光路系統的基礎上,搭配多導毛細管實現極小面積、極薄鍍層的高速、精確、穩定的測量。





標簽:   毛細聚焦光譜儀

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